لیتھوگرافی مشین ماسک سیدھ میں شامل فوٹو-اینچنگ مشین

تفصیلات

1. نمائش کا علاقہ: 110 ملی میٹر × 110 ملی میٹر ；
2. ★ نمائش طول موج: 365nm ؛
3. قرارداد: ≤ 1m ؛
4. سیدھ کی درستگی: 0.8m ؛
5. سیدھ کے نظام کی اسکیننگ ٹیبل کی تحریک کی حد کم از کم ملاقات ہوگی: Y: 10 ملی میٹر ؛
6. سیدھ کے نظام کے بائیں اور دائیں روشنی کے نلیاں X ، Y اور Z سمت ، X سمت: ± 5 ملی میٹر ، Y سمت: ± 5 ملی میٹر اور زیڈ سمت: ± 5 ملی میٹر: ± 5 ملی میٹر میں الگ الگ منتقل ہوسکتی ہیں۔
7. ماسک کا سائز: 2.5 انچ ، 3 انچ ، 4 انچ ، 5 انچ ؛
8. نمونہ کا سائز: ٹکڑا ، 2 "، 3" ، 4 "؛
9. sample نمونہ کی موٹائی کے لئے موزوں: 0.5-6 ملی میٹر ، اور زیادہ سے زیادہ 20 ملی میٹر نمونے کے ٹکڑوں کی حمایت کرسکتا ہے (اپنی مرضی کے مطابق) ؛
10. نمائش وضع: وقت (الٹی گنتی کا موڈ) ؛
11. لائٹنگ کی عدم یکسانیت: ＜ 2.5 ٪ ؛
12. دوہری فیلڈ سی سی ڈی سیدھ مائکروسکوپ: زوم لینس (1-5 بار) + مائکروسکوپ مقصد لینس ؛
13. نمونے کے نسبت ماسک کی نقل و حرکت کا اسٹروک کم از کم پورا ہوگا: X: 5 ملی میٹر ؛ y: 5 ملی میٹر ؛ : 6º ；
14. ★ نمائش توانائی کی کثافت:> 30 میگاواٹ / سینٹی میٹر 2 ،
15. ★ سیدھ کی پوزیشن اور نمائش کی پوزیشن دو اسٹیشنوں میں کام کرتی ہے ، اور دو اسٹیشن سروو موٹر خود بخود سوئچ ہوجاتے ہیں۔
16. رابطے کا دباؤ لگانے سے سینسر کے ذریعے تکرار کی صلاحیت کو یقینی بنایا جاتا ہے۔
17. ★ صف بندی کا فرق اور نمائش کا فرق ڈیجیٹل طور پر طے کیا جاسکتا ہے۔
18. ★ اس میں نینو امپرنٹ انٹرفیس اور قربت انٹرفیس ہے۔
19. ★ اسکرین آپریشن ٹچ ؛
20. مجموعی طول و عرض: تقریبا 1400 ملی میٹر (لمبائی) 900 ملی میٹر (چوڑائی) 1500 ملی میٹر (اونچائی)۔