لتھوگرافی مشین ماسک الائنر فوٹو اینچنگ مشین

تفصیلات

1. نمائش کا علاقہ: 110mm × 110mm；
2. ★ نمائش طول موج: 365nm؛
3. قرارداد: ≤ 1m؛
4. سیدھ کی درستگی: 0.8m؛
5. الائنمنٹ سسٹم کی سکیننگ ٹیبل کی موشن رینج کم از کم ملنی چاہیے: Y: 10mm؛
6. الائنمنٹ سسٹم کی بائیں اور دائیں لائٹ ٹیوبیں X، y اور Z سمتوں میں الگ الگ حرکت کر سکتی ہیں، X سمت: ± 5mm، Y سمت: ± 5mm اور Z سمت: ± 5mm؛
7. ماسک کا سائز: 2.5 انچ، 3 انچ، 4 انچ، 5 انچ؛
8. نمونہ سائز: ٹکڑا، 2 "، 3"، 4 "؛
9. ★ نمونے کی موٹائی کے لیے موزوں: 0.5-6 ملی میٹر، اور زیادہ سے زیادہ 20 ملی میٹر نمونے کے ٹکڑوں کو سپورٹ کر سکتے ہیں (اپنی مرضی کے مطابق)؛
10. نمائش موڈ: ٹائمنگ (کاؤنٹ ڈاؤن موڈ)؛
11. روشنی کی عدم یکسانیت: 2.5%؛
12. ڈوئل فیلڈ سی سی ڈی الائنمنٹ مائکروسکوپ: زوم لینس (1-5 بار) + مائکروسکوپ آبجیکٹیو لینس؛
13. نمونے کے نسبت ماسک کا حرکت پذیری اسٹروک کم از کم پورا ہوگا: X: 5mm؛ Y: 5 ملی میٹر؛ : 6º
14. ★ نمائش توانائی کی کثافت: > 30MW/cm2،
15. ★ سیدھ کی پوزیشن اور نمائش کی پوزیشن دو اسٹیشنوں میں کام کرتی ہے، اور دو اسٹیشن سروو موٹر خود بخود سوئچ کرتی ہے۔
16. رابطہ کے دباؤ کو برابر کرنا سینسر کے ذریعے دوبارہ ہونے کو یقینی بناتا ہے۔
17. ★ الائنمنٹ گیپ اور ایکسپوزر گیپ کو ڈیجیٹل طور پر سیٹ کیا جا سکتا ہے۔
18. ★ اس میں نینو امپرنٹ انٹرفیس اور قربت کا انٹرفیس ہے۔
19. ★ ٹچ اسکرین آپریشن؛
20. مجموعی طول و عرض: تقریبا 1400 ملی میٹر (لمبائی) 900 ملی میٹر (چوڑائی) 1500 ملی میٹر (اونچائی)۔